微觀裝置的制造及其處理技術
  • 帶納米線的膜及納米線的制造方法與流程
    .本發明涉及在基材上生長有納米線的帶納米線的膜、以及在基材上制造納米線的方法。.作為由氧化鋅等金屬氧化物構成的納米線(納米棒)的制造方法,已知有化學氣相法、激光沉積法、水熱合成法等各種方法。.其中,水熱合成法能夠比較簡單地制造納米線。例如,在專利文獻中公開了如下方法:將在表面形成有晶種層的...
  • CMOS-MEMS集成聲換能器及其制備方法
    cmos-mems集成聲換能器及其制備方法.本發明涉及cmos-mems集成的傳感器制造,具體是一種cmos-mems集成聲換能器及其制備方法。.電容式麥克風傳感器和電容式超聲換能器均是目前常見的傳感器類的器件,在實際生活中的應用也越來越廣泛。.電容式麥克風傳感器包括相對應...
  • L型連接梁聲發射器件及其制備方法
    l型連接梁聲發射器件及其制備方法.本發明涉及cmos-mems集成的傳感器制造,具體是一種l型連接梁聲發射器件及其制備方法。.聲發射是物體內部在裂紋擴展、塑性變形或相變過程中產生應力或應變局部再分布而快速釋放能量生成的瞬時高頻應力波(或稱聲波),聲波的頻率從幾赫到幾十兆赫。...
  • 一種帶隔離溝槽的PMUT的設計及制備方法
    一種帶隔離溝槽的pmut的設計及制備方法.本發明涉及pmut,具體為一種帶隔離溝槽的pmut的設計及制備方法。.微機電系統技術是近幾十年發展起來的微米級尺寸機電一體化系統技術?;趍ems技術,研究人員設計制作了微機械超聲換能器。相比傳統超聲換能器,它具有微型化、集成化、高...
  • 基于MEMS工藝的光纖式臺階型激光飛片換能元制備方法
    基于mems工藝的光纖式臺階型激光飛片換能元制備方法.本發明屬于激光火工品,涉及一種基于mems工藝的光纖式臺階型激光飛片換能元制備方法。.激光飛片沖擊起爆技術為激光火工品的一種重要起爆方式,其特點在于激光能量作為初始能源,通過高速飛片的撞擊實現鈍感裝藥爆轟,具有全鈍感裝藥...
  • 柔性電子器件異質混合集成用柔性基底和柔性電子器件
    .本申請涉及新一代信息技術產業之電子核心產業中的新型元器件,尤其涉及柔性電子器件異質混合集成用柔性基底和柔性電子器件。.目前,柔性電子設備,例如柔性傳感器已經得到了非常長足的發展,各種生理參數檢測的柔性傳感器被研發了出來。但是,為了實現更加前沿的應用,需要用到系統級的整體全柔性的電子設備,...
  • 組合傳感器封裝結構及封裝方法與流程
    .本發明涉及傳感器,更為具體地,涉及一種組合傳感器封裝結構及封裝方法。.隨著社會的進步和技術的發展,傳感器應用場景越來越廣泛,對傳感器的功能要求也越來越高。例如,目前大部分傳感器不僅要求具備防水功能,對防水性能要求的不斷提高,傳統的傳感器無法實現防水功能,不滿足多場景的使用要求。而...
  • 一種自支撐的MEMS紅外光源及其制備方法
    一種自支撐的mems紅外光源及其制備方法.本發明涉及半導體光電元器件,特別涉及一種自支撐的mems紅外光源及其制備方法。.mems紅外光源是根據熱輻射原理,通過對mems薄膜加熱,向外輻射寬譜紅外光。mems紅外光源基本組成由襯底,支撐結構薄膜,加熱層和輻射層組成。襯底用于...
  • 一種柔性壓電微加工超聲換能器陣列設計與制備方法
    .本發明涉及一種柔性壓電微加工超聲換能器(pmut)陣列設計與制備方法,屬于柔性微型傳感器。.近年來,隨著科技的發展,柔性電子設備在可穿戴電子設備、電子皮膚、人機交互和機器人等領域中具有巨大應用前景。其中柔性傳感器是柔性電子設備中的重要單元。柔性傳感器是以柔性導電復合材料為基礎進行...
  • 用于操作微流體裝置的系統的制作方法
    .本申請總體上涉及使用微流體裝置的系統。本申請尤其描述了用于操作微流體裝置的系統。.隨著微流體領域的不斷進步,微流體裝置已經成為處理和操縱諸如生物細胞等微目標的便利平臺。微流體裝置提供了一些期望的功能,包括選擇和操縱單個微目標的能力。這種微流體裝置需要各種輸入和輸出(例如流體、壓力、真空、...
  • 一種基于高深寬比納米柱的光學器件制作方法與流程
    .本申請實施例涉及半導體,尤其涉及一種基于高深寬比納米柱的光學器件制作方法。.超表面器件包括襯底以及襯底表面的多個納米柱,通過多個納米柱之間不同的材料、不同的結構、和/或不同的排列方式,能夠實現多種不同的光學功能,例如實現色差調節、成像和光譜調控等光學功能,因此,超表面器件經常被用...
  • 保證MEMS高質量貼蓋的改進方法與流程
    保證mems高質量貼蓋的改進方法.本發明涉及mems貼蓋,具體涉及一種保證mems高質量貼蓋的改進方法。.mems封裝工藝中,由于mems微機械需要運動空間的特殊性,金屬加蓋是封裝中的一個通用的工序。mems封裝通常會采用多芯片組裝,封裝中集合了mems芯片與信號轉換的asic芯片...
  • 微機電設備的制作方法
    微機電設備.優先權聲明.本申請要求于年月日提交的意大利專利申請第號的優先權,其內容在法律允許的最大范圍內通過引用全部并入本文。.本公開涉及一種具有可通過圍繞兩個旋轉軸的壓電致動而傾斜的結構的微機電設備(采用mems-微機電系統-技術制造)。.下文將參考微機電反射鏡設備,其中可傾斜結...
  • 一種調制超潤滑界面間摩擦力的方法及器件
    .本發明涉及微機電系統領域,尤其涉及一種調制超潤滑界面間摩擦力的方法及器件。.隨著智能化普及和微納技術發展,越來越多的新型微納機電器件出現,它們在信息通訊、航空航天、生物醫療、環境健康、科研儀器等領域的應用潛力巨大。然而隨著器件尺寸不斷減小,材料比表面積增大,微納界面的粘附、摩擦和磨損等表...
  • 一種超表面光學元件的制作方法與流程
    .本申請實施例涉及半導體,尤其涉及一種超表面光學元件的制作方法。.超表面光學元件由襯底和設置在襯底表面之上的分立納米柱結構組成,通過分立納米柱結構之間不同的材料、不同的結構、和/或不同的排列方式,能夠實現多種不同的光學功能,例如實現光學聚焦,成像,偏振調控,像差調控和光譜調控等功能...
  • 一種微機電傳感器互聯封裝方法與流程
    .本發明涉及微機電傳感器生產,尤其是一種微機電傳感器互聯封裝方法。.微機電傳感器(mems傳感器,microelectromechanicalsystems)是通過傳感器芯片將自然界中的各種信號(如聲音信號、光信號等)轉換成電信號的元器件。.目前的電路元器件封裝技術主要有金屬外...
  • 一種銀輔助濕法刻蝕黑硅的制備方法與流程
    .本發明屬于光學器件,尤其涉及一種銀輔助濕法刻蝕黑硅的制備方法。.非分光紅外(ndir)氣體探測系統具有高穩定性,可靠性和高線性,長期的使用壽命,容易維護,精確的測量和極快的響應恢復時間等多方面的優勢。該系統由mems紅外光源、氣室與紅外探測器組成,紅外光源中黑體產生的中紅外寬譜紅...
  • 一種mems超薄懸浮膜釋放方法.本發明屬于mems傳感器,具體涉及一種mems超博懸浮膜釋放方法。.在mems領域,越來越多的mems傳感器結構采用懸浮膜、封閉膜、懸臂梁等支撐結構,由于mems器件的微型化、小型化以及高靈敏度發展趨勢,其支撐結構的厚度越來越薄,其支撐膜釋放...
  • 傳感器封裝件的制作方法
    傳感器封裝件.本申請是申請號為.、申請日為年月日、名稱為“傳感器封裝件及其制作方法”的中國發明專利申請的分案申請。.本發明有關一種傳感器封裝件,更特別有關一種將傳感器設置于微機電系統致動器的可動平臺的具有可動式傳感器的封裝件及其制作方法。.微機電系統(mems)是通過蝕刻硅晶圓而形...
  • 閥裝置以及MEMS裝置的制作方法
    閥裝置以及mems裝置.本申請基于年月日提交的日本專利申請-號以及年月日提交的日本專利申請-號,將其記載內容援用于此。.本發明涉及閥裝置以及mems裝置。.一直以來,例如,在專利文獻中提出有具備微型閥的閥裝置,該微型閥輸入兩個流體,使兩個流體混合而輸出所希望的壓力的混合流體。靈活運...
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